• 當前位置:首頁 > 專題專訪 > 專題 > 正文

    國內外主要光刻膠生產商大盤點

    發布時間: 2021-11-04 13:55:04   試劑信息網

    光刻膠又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等照射或輻射,其溶解度發生變化的混合液態感光材料,主要由增感劑(光引發劑)、感光樹脂(聚合劑)、溶劑與助劑構成。

    光刻膠利用光化學反應, 經曝光、顯影等光刻工藝,將所需要的微細圖形從掩模版轉移到待加工基片上,是用于微細加工技術的關鍵性電子化學品。因其在半導體等電子器件制造過程中的關鍵作用,光刻膠成為我國重點發展的電子產業關鍵材料之一。

    下面,我們來簡單盤點一下國內外都有哪些光刻膠企業。若有錯漏,歡迎讀者朋友留言指正、補充。


    國外主要光刻膠生產商


    1
    JSR

    JSR(原日本合成橡膠有限公司)成立于1957年,產品涵蓋G/I線、KrF、ArF(干法/濕法)和EUV光刻膠等,是全球光刻膠第一生產商。目前,JSR光刻膠全球市占率約13%,半導體光刻膠市場份額約28%,位居全球第一。

    1979年,JSR進入半導體材料業務,開始銷售首個光刻膠產品CIR;

    2004年,JSR首次通過ArF沉浸式光刻成功實現了32nm分辨率,引領了巨大的的技術變革;

    2006年,JSR又與IBM 合作,通過ArF沉浸式光刻成功實現了30nm及更小的線寬。

    2011年,JSR 與SEMATECH 聯合開發出用于15nm工藝的化學放大型EUV光刻膠;

    2016年,JSR和IMEC在2016年成立了EUV光刻膠制造合資企業-EUV抗蝕劑制造和鑒定中心(EUV RMQC);

    2017年, JSR、三星創投、Intel Capital等公司投資了EUV光刻膠先驅Inpria。Inpria生產了一種包含氧化錫的EUV光刻膠,這種光刻膠具有良好的靈敏度,將EUV的吸收效率提升了4倍,并且可以實現更簡單的制造流程和更大的工藝窗口。

    2021年9月17日,JSR宣布將以5.14億美元收購美國光刻膠生產商Inpria,進一步擴大光刻膠市場份額。

    2
    東京應化(TOK)

    東京應化成立于1936年,為全球領先的半導體光刻膠生產商,產品覆蓋橡膠型負性光刻膠、g線光刻膠、i線光刻膠、KrF光刻膠、ArF光刻膠、EUV光刻膠、電子光束光刻膠等。

    1968年,東京應化研發出首個環化橡膠系光刻膠產品MOR-81;

    1972年,東京應化年開發出日本首個重氮醌類光刻膠OFPR-2;

    20世紀80年代進入到g線/i線光刻膠業務-TSMR產品;

    2006年,東京應化開始研發ArF浸沒光刻膠所需技術。

    3
    信越化學

    信越化學成立于1926年,前身為信越氮肥料株式會社,為日本最大的化工企業。1998年,信越化學實現光刻膠產品的商用化,主營光刻膠產品有I/g線光刻膠、Krf光刻膠、ArF(干式和濕式)、EUV光刻膠。

    信越化學光刻膠業務隸屬于電子和功能材料部門,利用其材料制造商的優勢,信越化學從原料聚合物的合成到化合進行一體化生產。信越化學KrF和ArF光刻膠被用于蝕刻半導體電路的光敏材料,厚膜i線光刻膠被廣泛用于薄膜磁頭和MEMS應用。

    2020年10月,據日經新聞報道,信越化學宣布將耗資約300億日元(約合人民幣17.43億元),將半導體廠重要材料光刻膠的產能調高20%,借此為先進芯片的生產擴大供應。

    據了解,信越化學將在臺灣云林和日本直江津各設立一個新廠房,預計臺灣云林廠將在2021年正式量產,提高50%針對臺灣客戶的產能。屆時,信越化學將開始在臺灣生產這種適合用于先進極紫外光(EUV)光刻技術的光刻膠,以往這種材料只在日本生產。信越化學希望此舉能滿足臺積電等客戶攀高的需求。

    此外,信越化學直江津工廠的新設備預計在2022年2月開始運作,將提高20%的產能。

    4
    富士膠片

    富士膠片成立于1934年,最早致力于感光材料產品的生產。在膠片時代,富士膠片的照相機膠卷、光學素質和相關沖印材料長期處于行業領導位置。富士膠片基于在膠片業務中積累的光學和化學優勢,將業務板塊延展為醫療&材料解決方案、文件解決方案、影像解決方案三大業務及9個子板塊,并實現業績的穩定增長。

    富士膠片的光刻膠業務隸屬于醫療&材料解決方案中的高功能材料板塊。目前,富士膠片的光刻膠產品覆蓋負膠、i線、KrF、ArF、電子束膠等?!度湛I新聞》透露,富士膠片已正式啟動EUV光刻膠業務,目標在2024年之前獲得全球10%市占率。

    5
    東進世美肯

    東進世美肯成立于1967年,在韓國內首家開發PVC以及橡膠發泡劑,在發泡劑領域取得成功后,借助韓國國內電子產業基礎和產業政策的支持,迅速在電子材料領域崛起。

    1983年,東進世美肯以EMC項目為起點進入半導體材料領域,并著手開發半導體用光刻膠,1990年取得成功,使得韓國成為緊隨美國、德國、日本之后的全球第四個掌握該項技術的國家。1995年發安工廠竣工后,東進世美肯開始引領原來完全依賴進口的半導體材料國產化。

    1999年,東進世美肯在臺灣設立當地法人,開始了海外市場的拓展。

    2000年,發安工廠2期工廠竣工,隨后依次創建了臺灣工廠(2001)、北京工廠(2004)、 啟東工廠(2006)、成都工廠(2009)、合肥工廠(2010),目前已經是京東方的最主要的濕電子化學品供應商。

    東進世美肯目前產品系列眾多,大類可分為光刻膠、濕電子化學品、顯示材料, 具體包括光刻膠、顯像液、研磨劑、LCD液晶、OLED發光 材料等等,下游應用遍布平板顯示、集成電路、觸摸屏等領域。

    據韓媒報道,2021年5月25日,東進世美肯在京畿道華城巴蘭的工廠舉行了新光刻膠制造大樓的竣工儀式和產品交付儀式,其投資200億韓元的新半導體光刻膠工廠全面運營。首席執行官Jun-h-hyuk表示計劃在這里生產EUV光刻膠。

    6
    住友化學

    住友化學成立于1913年,是日本的大型綜合化學公司之一,業務主要包括石油化工、能源和功能材料、信息電子化學、健康和農業相關業務、健康等,其光刻膠業務屬于信息電子化學,主要包含i線、KrF、ArF、EUV光刻膠等。

    2021年8月31日,住友化學宣布,基于5G市場需求的持續增加,住友化學決定擴大半導體光刻膠的產能。

    據了解,住友化學將在大阪工廠(日本大阪的Koonohana-ku)新增ArF(浸入式)和EUV(極端紫外線)光刻膠生產線,并在韓國全資子公司東宇精細化工有限公司的Iksan工廠為射頻浸入式平板攝影器建造一個新的光刻生產廠。住友化學表示,新生產線將于2023財年上半年開始運營,大阪工廠將于2024財年上半年投產。

    新設的韓國工廠將生產ArF(氟化氬)光刻膠。ArF光刻膠是在半導體晶片上印刻電子電路時使用的尖端材料,住友化學此前一直在大阪工廠生產該材料。今后將把日本國內原料調配到韓國工廠,而后混合出貨。

    住友化學方面解釋說:“ArF光刻膠并非指定的限制韓國出口的品類?!钡蟹治稣J為,在最近接連發生的日本半導體材料制造企業對韓國的投資,不能否定是出口限制措施影響。


    國內主要光刻膠生產商


    1
    南大光電

    南大光電成立于2000年,是專業從事先進前驅體材料、電子特氣、光刻膠及配套材料三類半導體材料產品生產、研發和銷售的高新技術企業。

    成立之初,南大光電主要從事高純金屬有機化合物(MO源)光電子材料的研發、生產。

    自2017年起,南大光電先后承擔國家“02專項”高分辨率光刻膠與先進封裝光刻膠產品關鍵技術研發項目和ArF光刻膠產品開發與產業化項目。歷經3年,南大光電已制備出國產自主可控的ArF光刻膠產品, 滿足產業化的技術條件。

    2020年12月,南大光電自主研發的ArF光刻膠產品成功通過武漢新芯的使用認證,成為通過產品驗證的第一只國產ArF光刻膠,打破了我國高檔光刻膠受制于人的局面。

    2021年5月,南大光電ArF光刻膠產品在邏輯芯片制造企業55nm技術節點的產品上取得了認證突破。

    目前,南大光電建有ArF光刻膠產品大規模生產線,將形成年產25噸ArF(干式/浸沒式)光刻膠產品的生產能力,產品性能可以滿足90nm-14nm集成電路制造的要求。

    2
    彤程新材

    彤程新材成立于2008年,電子化學品業務主要涵蓋半導體光刻膠及配套試劑、顯示面板光刻膠和電子級酚醛樹脂。

    2020年,彤程新材通過外延并購實現光刻膠業務布局,其子公司北京科華和北旭電子分別為國內半導體光刻膠和面板光刻膠領先企業。其中,北京科華是唯一被SEMI列入全球光刻膠八強的中國光刻膠公司,其研發進度國內領先,KrF光刻膠實現量產。北旭電子是國內首家TFT光刻膠制造商,國內市場整體占有率近20%。

    同時,彤程新材積極向光刻膠上游布局,發揮產業鏈協同優勢。通過建立電子級酚醛樹脂生產線,著力研發G/I線光刻膠、KrF光刻膠、ArF光刻膠生產所需的樹脂。

    此外,彤程新材加速光刻膠產能拓展滿足國內市場需求,先后規劃1.1萬噸半導體、平板顯示用光刻膠及2萬噸相關配套試劑項目,并建設年產5000噸電子級酚醛樹脂生產線。

    此外,彤程新材還建立了光刻膠研發實驗室和電子級樹脂研發平臺,不斷深入電子化學品布局。彤程新材客戶涵蓋國內主流廠商,包括中芯國際、上海華力微電子、長江存儲、華潤上華、杭州士蘭、吉林華微電子、三安光電、華燦光電等。目前是全球領先的新材料綜合服務商。

    3
    上海新陽

    上海新陽成立于1997年,2011年在深交所二十年來,上海新陽經過持續不斷地研發創新,形成了擁有完整自主可控知識產權的電子電鍍和電子清洗兩大核心技術。

    緊密圍繞兩大核心技術,上海新陽開發研制出140多種電子電鍍與電子清洗系列功能性化學材料,產品廣泛應用于集成電路制造、3D-IC先進封裝、IC傳統封測等領域,滿足芯片銅制程90-28nm工藝技術要求,相關產品已成為多家集成電路制造公司28nm技術節點的基準材料,成為中國半導體功能性化學材料和應用技術與服務的知名品牌。

    此外,上海新陽已立項研發集成電路制造用高分辨率193nmArF光刻膠及配套材料與應用技術。目前,KrF光刻膠產品已取得訂單,ArF干法光刻膠尚在認證當中,合肥第二生產基地項目正在按計劃建設當中。

    4
    徐州博康

    徐州博康成立于2010年,專注于光刻膠原材料到成品的自主研發及生產,實現了從單體、專用樹脂、光酸劑及終產品光刻膠的國產化自主可控的供應鏈,是中國目前唯一一家可以規?;a中高端光刻膠單體材料的企業。

    目前,徐州博康產品線涵蓋193nm/248nm光刻膠單體、193nm/248nm光刻膠、G線/I線光刻膠、電子束光刻膠等產品。目前,徐州博康已成功開發出十余個高端光刻膠產品系列,包括多種電子束膠、ArF干法光刻膠、KrF正負型光刻膠、I線正負型光刻膠及GHI超厚負膠,覆蓋IC集成電路制造、IC后端封裝、化合物半導體、分立器件、電子書等市場應用領域。

    2012年,徐州博康單體產品通過日本東京合成橡膠JSR認證;

    2013年開始陸續向JSRTOK三星等日韓光刻膠公司供應單體。

    2021年6月,徐州博康新建年產1100噸光刻材料及1萬噸電子溶劑新工廠投產。該項目全部達產后,可實現年產值20億元,這也是中國目前第一個可以規?;a中高端光刻膠的生產基地。

    5
    晶瑞電材

    晶銳電材成立于2001年,是一家集研發、生產和銷售于一體的微電子新材料公司,主要產品包括超凈高純試劑、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料等,廣泛應用于半導體、面板顯示、LED等泛半導體領域及鋰電池、太陽能光伏等新能源行業。

    1976年,蘇州中學校辦光刻膠研發室成立,這是晶瑞電材最初的起源地,也是中國最早研發光刻膠的團隊之一。

    2001年,晶瑞電材正式成立,并于2011年收購蘇州瑞紅部分股份;2017年,晶瑞電材上市,蘇州瑞紅成為全資子公司;2018年,晶瑞電材I線光刻膠量產,產能達100噸/年。

    目前,其光刻膠產品由子公司蘇州瑞紅生產,蘇州瑞紅作為國內光刻膠領域的先驅,規模生產光刻膠近30年。晶瑞電材紫外負型光刻膠和寬譜正膠及部分g線等高端產品已規模供應市場數十年;i線光刻膠近年已向中芯國際等企業供貨;高端KrF(248)光刻膠已完成中試,建成了中試示范線,目前已進入客戶測試階段;ArF高端光刻膠研發工作已啟動,為適應行業現狀帶來的發展機遇,已在設備投入、人才引進等方面加大投入。此外,晶瑞電材還承擔并完成了國家重大科技項目02專項“i線光刻膠產品開發及產業化”項目。

    6
    容大感光

    容大感光成立于1996年,是一家專業生產高端感光化學材料的國家級高新技術企業,光刻膠產品主要包括紫外線正膠、紫外線負膠兩大類產品以及稀釋劑、顯影液、剝離液等配套化學品,主要應用于平板顯示、發光二極管及集成電路等領域。

    2021年9月27日,容大感光發布公告稱,擬在珠海經濟技術開發區投資6億元建設感光干膜、平板顯示光刻膠、半導體光刻膠產品等項目。

    來源:信達證券、國聯證券、各企業官網、新材料在線、半導體行業觀察、天眼查、勢銀膜鏈等,化工


    滋润岳的性饥渴,午夜免费视频未满十八,nikki欧美办公室老师tukif